如何让晶圆获得理想的加热效果
如果你曾经处理过硅晶圆，就会知道它们有多么娇贵。一旦加热方式不当，晶圆就会变形。这真是糟糕至极的情况。为避免这种情况，我们在洁净室照明设备中使用了镀金反射器。为什么选择黄金呢？因为我们可不能让宝贵的能量白白浪费在无用的地方。
为何选择黄金
虽然铝制反射器很常见，但它们会吸收过多的能量，效率实在不高。而黄金则不同——它几乎能完美反射红外光。这样一来，光子就不会散失到错误的方向，而是直接照射到晶圆上。最棒的是，这样就能在需要的地方产生足够的热量，而无需增加功率。这样一来，能耗就会降低，晶圆也能更快达到理想温度。
应对高温问题
不过，当能量如此集中时，温度就会变得非常高。由于镀金层具有极高的反射效率，所以必须确保冷却系统能够有效散热。如果散热不良，热量就会破坏内部密封结构。此外，我们还使用高纯度的石英管。在晶圆制造过程中，哪怕有一粒微小的杂质，都可能毁掉一切。因此，我们会在组件离开工厂之前彻底清除所有有机残留物，因为“几乎干净”远远不够。
在您的工厂中使用这些灯具
这些灯具设计为可直接替代现有的红外加热装置。我们非常注重焦距的调整，确保晶圆上没有“冷点”。如果发现加热不均匀，不必惊慌，通常只是元件与反射镜之间的位置不对而已，稍作调整即可解决。
安装时的建议：
***使用稳定的PID控制器。**这样可以防止温度过高，从而避免损坏晶圆。
***务必戴上手套。**黄金涂层非常讨厌指纹，皮肤上的油脂会留在表面，形成永久性的污渍，而且很难去除。