ラムプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。
大量生産ラインでは、ラムプが破裂すると大変なことになります。数時間分の機械の停止だけではありません。瓦礫が散乱してしまいます。石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスが直接ウェーハに降り注ぎます。そうなると、そのバッチ全体が廃棄物になってしまいます。私たちは、そういう事態を防ぐために、専用のデジタル赤外線乾燥装置やラムプを開発しています。
冷却と保護
ほとんどのラムプは、熱衝撃や急激な電圧の上昇によって破裂します。まるで冷たいガラスに熱い水を注ぐようなものです。だからこそ、私たちのコントローラーは、起動した瞬間にすぐに最大出力にするのではありません。PID制御を使って徐々に出力を上げていきます。これにより、石英管がゆっくりと安全に膨張する時間が得られます。また、高純度の融解石英を使用しています。確かに耐熱性はありますが、やはりガラスですから壊れやすいのです。それを防ぐために、ラムプを「保護カバー」で包みます。これはまるで安全ネットのようなものです。もし管が破損しても、カバーが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは汚れず、機械の清掃に時間を費やす必要もありません。
信頼性の高いハードウェア
高出力のラムプを安価で弱い回路で動かすことはできません。電圧が不安定だと、フィラメントに負担がかかり、最終的には破損してしまいます。私たちは電圧の許容範囲を厳しく管理しています。これにより、ラムプの寿命が延び、作業中に突然の破裂音が発生するのを防ぎます。また、コネクタにも力を入れています。もしコネクタがしっかりしていなければ、端子部分で放電が起こり、小さな熱源が生じて管の端が割れてしまいます。しっかりと固定されていれば、ラムプは壊れることなく耐えられます。
一つの犠牲
正直に言うと、保護カバーを使うと、わずかに赤外線が遮られてしまいます。出力が少し減少します。その分を補うために、出力を上げるか、ウェーハをもう少し長く加熱する必要があります。小さな調整ですが、高価なウェーハを失うよりはずっと良いでしょう。