真空チャンバー用赤外線ヒーター

熱風を使うのはやめましょう：なぜ真空赤外線加熱が最適なのか もし依然として半導体製造に熱風循環方式を使用しているのであれば、その遅さに気づいているはずです。とてもイライラすることです。ウェハーが温度上昇を感じるまで、チャンバー内の空気全体や各分子が温まるのを待たなければなりません。これは非常に遅い...